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新余国宏中冶新材料有限公司年产50000片碳化硅晶圆项目
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新余市高新区阳光大道以北,纵一路以西
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江新余国宏中冶新材料有限公司
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江江西鑫环科创环保科技有限公司
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该项目位于新余市高新区阳光大道以北,纵一路以西(N27°51′24.73″,E115°00′24.12″)。项目总投资32000万元,环保投资80万元。占地面积64932.15m2。建设内容主要包括: 新建4栋生产车间等主体工程;仓库、综合楼、食堂、研发楼等储存及辅助工程;新建污水管网、供水管网、供电系统等公用工程;新建废水处理设施、新建废气处理设施、固废处理设施等环保工程。项目主要进行碳化硅衬底片的生产,主要原辅材料有高纯碳化硅粉料、4吋籽晶、4吋石墨坩埚、石墨保温场、切削液、研磨液、抛光液等。本项目生产工艺流程:物理气相沉积长晶-晶体端面处理-滚圆-切割-清洗退火-研磨-清洗-倒角-抛光-清洗-检测-包装入库。项目建成后,将达到年产50000片碳化硅晶圆生产规模。
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(1)废水:生活废水经化粪池预处理后经园区污水管网排入高新区污水处理厂处理达标排放;生产废水经场内自建污水处理站处理。
(2)废气:项目废气为晶片酸洗、碱洗清洗工序产生的酸碱废气,长晶炉废气,食堂废气,备用柴油发电机尾气。酸碱废气经废气洗涤塔吸收处理后经15m排气筒排放;长晶炉废气由真空泵集中排气,经由15m排气筒排放;食堂油烟经油烟净化器处理;备用柴油发电机使用轻质柴油,仅应急状态使用,使用频次低,尾气经设备自带排气筒排放。
(3)噪声:合理布局,选用低强度噪声设备,对主要噪声设备采取隔声、吸声、消声、减震、绿化等综合措施,控制噪声对周边环境的影响。
(4)固体废物:按要求设置固体废物储存场所;一般固废资源统一收集外售;生活垃圾由环卫部门收集处理,危险废物有废切削液、废研磨液、废抛光液、废酸、废碱、废乙醇、污泥、废溶剂包装桶等统一收集交由有资质单位处理。
(5)项目设置生产车间周围100m的卫生防护距离,防护距离内无敏感点。
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